智能對(duì)焦系統(tǒng)
埃科智能對(duì)焦系統(tǒng)基于同軸激光傳感的高速自動(dòng)對(duì)焦技術(shù)開發(fā)而成,通過采集對(duì)應(yīng)樣品表面反射的激光信號(hào),主動(dòng)感知物鏡到對(duì)焦樣品表面的距離,并根據(jù)物鏡的離焦?fàn)顟B(tài)實(shí)時(shí)確定并輸出運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的控制信號(hào),控制物鏡運(yùn)動(dòng)到對(duì)焦位置,保證成像系統(tǒng)始終采集到高對(duì)比度圖片。

產(chǎn)品特征

  • 高速實(shí)時(shí)跟焦

    智能對(duì)焦系統(tǒng)支持6.3kHz高速離焦量采樣,能夠迅速檢測(cè)目標(biāo)表面的離焦距離和離焦方向,自動(dòng)快速調(diào)整焦距,確保被測(cè)表面能夠?qū)崟r(shí)清晰成像。在常規(guī)的10倍物鏡,離焦100um的情況下,再對(duì)焦時(shí)間小于100ms。

  • 亞微米級(jí)追焦精度

    智能對(duì)焦系統(tǒng)的對(duì)焦精度達(dá)到亞微米級(jí)靜態(tài)對(duì)焦精度優(yōu)于1/4景深,動(dòng)態(tài)跟蹤對(duì)焦精度優(yōu)于1/2景深

  • 場(chǎng)景適應(yīng)性佳

    智能對(duì)焦系統(tǒng)支持線式分段激光采樣,能夠兼容更復(fù)雜的目標(biāo)表面紋理,滿足嚴(yán)苛的檢測(cè)需求;同時(shí)提供660/785/850nm三種激光波長(zhǎng),適應(yīng)不同的成像波段需求。

  • 廣域?qū)狗秶?i>

    在常規(guī)物鏡倍率下,智能對(duì)焦系統(tǒng)擁有足夠大的對(duì)焦范圍,可彌補(bǔ)目標(biāo)物上料時(shí)的高度定位偏差,適應(yīng)更復(fù)雜的對(duì)焦場(chǎng)景。

  • 組件配置靈活

    智能對(duì)焦系統(tǒng)支持多物鏡切換應(yīng)用,可應(yīng)對(duì)需要多個(gè)復(fù)檢倍率的瑕疵檢測(cè)場(chǎng)景;還能夠兼容多種相機(jī)靶面、明/暗場(chǎng)光源及Z軸執(zhí)行器,各部分組件可根據(jù)實(shí)際使用場(chǎng)景自由選配,游刃有余地應(yīng)對(duì)不同場(chǎng)景視覺應(yīng)用。


應(yīng)用案例

??浦悄軐?duì)焦系統(tǒng)目前已在顯示面板、半導(dǎo)體、PCB、生物醫(yī)療等領(lǐng)域的亞微米級(jí)高精度檢測(cè)場(chǎng)景中廣泛應(yīng)用,并獲得高度認(rèn)可。

產(chǎn)品規(guī)格

型號(hào) IFU-S6
物鏡倍率 2x5x10x20x50x
NA 0.0550.140.280.420.55
景深 91um14um3.6um1.6um0.9um
采樣率 160Hz-6.3kHz
線性對(duì)焦范圍(μm) ±3000±1000±700±300±100
供電 12-24V DC
功耗 3W
動(dòng)態(tài)跟蹤對(duì)焦精度 優(yōu)于1/2物鏡景深
單次對(duì)焦時(shí)間 小于100ms (10X物鏡 離焦100um)
可對(duì)焦反射率 1-99%
可對(duì)焦范圍(μm) ±20000±13000±5000±2500±800
圖像傳感器 Area Scan CMOS
對(duì)焦重復(fù)性 優(yōu)于1/4物鏡景深
尺寸 45*50*128mm
工作環(huán)境溫度 10-35℃
模塊質(zhì)量 385g
激光器 660nm/785nm/850nm半導(dǎo)體激光器,出光口的出光功率0.4-4mw
激光器控制 RS485
激光形狀 線式
運(yùn)動(dòng)控制信號(hào)輸出 脈沖+方向 or 模擬信號(hào)(0-10V)
通信方式 RS485
靜態(tài)對(duì)焦精度 優(yōu)于1/4物鏡景深

產(chǎn)品尺寸圖

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